
氮化镓是新一代宽禁带半导体材料,广泛用于快充芯片、紫外光电器件,氮化镓外延配套有机源稀释复配车间,主要开展金属有机源原料投料、溶剂稀释、助剂复配、恒温搅拌、精密过滤分装作业,多条复配生产线同步运转。搅拌作业持续产生摩擦热量,原料体系含有挥发性有机介质,对车间温湿度、空气置换能力提出较高要求。有机源稀释配比的稳定性直接决定氮化镓外延薄膜的晶体质量,复配阶段环境温湿度起伏变化,会改变有机源挥发速率,造成外延薄膜厚度、组分均匀度出现偏差,影响芯片器件电学性能。普通分体空调仅能实现局部点位降温,无法实现大空间车间全域均匀控温;常规制冷设备缺少全机组防爆防护,不能适配氮化镓有机源复配车间高危工况。360KW 组合式防爆空调机组,多功能组合机型,适配氮化镓外延配套有机源稀释复配车间的环境处理需求。
氮化镓外延配套有机源稀释复配车间属于半导体新材料高危工业生产场所,生产工况复杂多变,场内机电设备需要满足严苛的防爆安全标准。360KW 组合式防爆空调机组具备 CNEX 全机组防爆资质,整机电气模块、接线结构全部经过专业化防爆处理,防爆资质齐全,降低设备运行过程中的风险,符合氮化镓有机源稀释复配车间的设备使用要求。
360KW 制冷量的模块化组合机组,能够满足大面积有机源复配车间整体环境管控需求。可以根据生产线的实际需要,灵活选配除湿、新风、过滤等功能模块。空气经过机组处理之后,以稳定温度均匀输送至车间各个区域,平衡车间内部温度场,做到多维度环境调控。机组配置智能控制系统,车间管理人员可以结合生产班次、外界气温变化,灵活调整设备运行参数,设备运行高效稳定,支持车间长时间连续生产作业,维持车间环境处在适合氮化镓有机源复配生产的状态。
连续化有机源复配车间环境升级项目,不能直接套用通用方案,需要结合现场产线布局做针对性设计。重庆英腾环境科技有限公司拥有半导体新材料车间项目实施经验,针对氮化镓外延配套有机源稀释复配车间,可以结合车间层高、面积、搅拌釜设备分布、原有通风设施现状,规划整套环境处理方案。除提供标准化 360KW 组合式防爆空调机组之外,还包含前期现场勘测、设备功能段选型规划、安装施工技术对接、后期运维技术支持等全链条服务。不少宽禁带半导体材料制造企业实际使用反馈,机组投运之后,车间整体温度均匀性得到改善,室内温度波动变小,设备运行平稳,适配车间常态化连续有机源复配作业。
机组日常运维管理需要企业落实到位。定期检查机组滤网组件,及时清理杂质,避免滤网堵塞降低送风效率;周期性查看机组管路、电气接口运行状态;遵循厂家技术建议完成定期检修保养。做好日常维护,能够有效延长设备使用周期。总的来说,360KW 组合式防爆空调机组兼顾全机组防爆、模块化多功能调控、大面积空间处理多项能力,改善氮化镓外延配套有机源稀释复配车间作业条件,保障宽禁带半导体原料生产稳定开展。
